目前为止，我们已经讨论了直接测量滤光片的光学性质，但仍有一些很难测量的物体的自然性质，这与薄膜和基底的质量和加工有关。对于任何光学元件，都会对基片进行详细的描述，如表面形状、抛光程度、允许涂片、光洁度等，这里不应再考虑基片。mil-e13830a在美国得到了普遍的应用，为包括基板在内的光学元件提供了一套有效的标准。

       可以通过存在诸如針孔、污点、溅射标记和未涂覆区域的缺陷来测量涂层的质量。針孔有两个主要原因。

       首先，它们实际上有很小的未涂覆区域或一些未涂覆的区域，这将导致额外的光传输截止区，从而降低滤波器的整体性能。

       其次，对于可见光波段的滤光片来讲，这些缺点会影响整体外观。事实上，它们使外表看起来比实际表现更糟糕。除了简单的外观判断外，还可以根据给定大小单位面积上的较大值来确定針孔的允许大小，即当滤波器的截止值减小到给定值时針孔的数量。为了计算该值，必须假定在任何时间使用的滤波器的较小面积。很明显，面积越小，針孔数量越小。当然，在任何过滤器中，針孔的实际计算都要耗费大量的人力。在实际应用中，将滤光片与参考样品进行比较，可见滤光片的测量往往是可视化的。

       一个简单的灯箱固定支架可以很容易地建造，并且可以在上面放置大量的过滤器，可以与参考样品进行比较，以确定它是否符合要求。对于不透明基片上的滤光片，更容易测量其实际截止性能。

       一般来说，除非数量巨大，否则对光学性能的影响很小。一个重要的风险是物质碎片可能会掉下来，針孔也会出现。溅射过程有时会引起结瘤的生长并带来一些问题，或者如果存在大量溅射碎片，则散射损失可能增加。与控制針孔一样，这是可以控制的，但由于镜面反射光学性能几乎不受影响，除非溅射标记数量很大，否则确定允许值的方式往往是主观的。如果針孔是由溅射产生的，它们将被分开处理。

       一般在指标中会说明：没有可见的溅射轨迹，但是这种描述是非常模糊的，尤其是当检查员没有光学经验时。当用户检查员使用镜头辅助肉眼观察时，用户和制造商之间会有差异。当它能够采用与测试销孔相同的精确方法时，将测试与双方商定的参考样品联系起来。